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激光干涉仪的工作原理：
激光干涉仪发射单一频率光束，光束射入线性干与镜后分红两道光束射向反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，从头汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有改变时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到安稳的信号。若光程差有改变时，这些改变会被核算并用来丈量两个光程之间的差异改变。
当高压连接在阳极和阴极之间时，混合气体被激起，构成激光光束，经过放大激光光强使一些光透射出来成为输出激光光束。其间，为实现平衡状况，经过加热器控制激光管长度让激光稳频的精度保持在±0.05ppm以内，此时安稳输出后，激光器即可进行干涉丈量。如今大多数现代位移干与仪都使用氦氖(HeNe)激光管，这些激光管具有633纳米的波长输出。
激光器的频率、功率、安稳性、可靠性、光束质量及寿数等指标参数，都关系着激光干涉仪的性能。其间激光频率是激光干涉仪根本的参数，其频率(波长)的准确性和安稳性是激光干涉仪丈量精度的确保。
激光干涉仪的使用方法：
1、开机：接通电源打开电源开关，1分钟后开端检测。(由于刚开机激光器不安稳)。
2、光路调整：旋上合适的规范镜头使规范镜头的星点对准寻星窗口中心的黑点，显示器上显示完好的圆形图画。
3、透镜面形检测：调理沉座到被检透镜的合适尺寸，(主张大批量固定透镜的检测，自己加工固定的沉座)放上透镜调理高度和透镜调理钮使透镜的星点与规范镜头的星点重合，观测显示器是否呈现干涉条纹，条纹越少精度越高。干涉图画与对准系统同步，无需切换，任何人都能简单操作。高度调理结构选择加长的测验轨道来配合丈量尺寸，可简洁的丈量出曲率半径。
4、透镜曲率半径检测：开启标尺电源开关(清零)，调整图画到看清直线干与条纹(3条到5条)，凸透镜向上调理高度(凹透镜向下调理高度)到第2个星点呈现的时分调理规范镜头调理旋钮，使图画呈现猫眼像，标尺移动的数值就为被测透镜的曲率半径。光学侧头
